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當前位置:首頁產品中心半導體專用檢測儀器設備XRDFreiberg-Ingot XRDIngot XRD - 晶錠X射線定向儀

Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀
產品簡介

Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀有著*的XRD系統,用于單晶晶錠的自動定向、傾斜和對準研磨。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。

產品型號:Freiberg-Ingot XRD
更新時間:2025-11-04
廠商性質:代理商
訪問量:3247
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Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀主要里程碑:        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞瑟·布拉達切克和他的兒子漢斯·布拉達切克創立。

◆  1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測計數裝置,名為 COUNTIX 130。

◆  1989 - 開發 Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統 -    振蕩器產量從 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉移到其他材料,如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金

◆  2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線衍射儀 ( DDCOM ) 

全球售出 約 150臺石英分選系統

◆  2015 - X 射線技術和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH        


傳承60年德國工匠精神-三代X射線工程師        

        

 Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀的特點:        

◇   精度高        

◇   測量速度快: < 5秒/樣品        

◇   典型的標準偏差傾斜度(例如:Si 100):< 0.003 °,極小< 0.001 °。        

◇   晶錠的自動對準        

◇   膠片的自動定位        

◇   光學測量晶錠和/或研磨原錠的幾何特征(平邊Flat、凹槽Notch位置)        

◇   晶錠的自動標記        

◇   易于集成到工藝線中(手動或機器人裝載)。        

◇   數據矩陣代碼(DMC)閱讀器        

◇   MES接口;SECS/GEM或類似接口        

◇   直徑達300毫米,長度達520毫米的晶錠        


       

        

 Ingot XRD prepared for manual loading            

     

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